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低漏開關(guān)矩陣應(yīng)用于WAT測試

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       WAT(Wafer Acceptance Test)測試機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中的重要設(shè)備。它主要用于在晶圓(wafer)制造完成后,對晶圓上的芯片進(jìn)行電學(xué)性能測試。通過 WAT 測試可以快速篩選出不符合電學(xué)性能標(biāo)準(zhǔn)的芯片,從而避免將有缺陷的芯片進(jìn)行后續(xù)的封裝等工序,降低生產(chǎn)成本。這些電學(xué)性能測試包括但不限于芯片的閾值電壓、導(dǎo)通電阻、電容等參數(shù)的測量,以確保芯片在封裝前能夠滿足設(shè)計要求。


       在 WAT 測試流程中,測試機(jī)需要精確地將測試信號施加到晶圓上的每個芯片的特定引腳(pad)上。而且,由于晶圓上有大量的芯片(可能有成百上千個),需要高效地切換測試通路來完成對所有芯片的測試。這就要求測試設(shè)備具有高精度的信號切換和連接功能,而低漏開關(guān)矩陣正好可以滿足這一需求。


       在 WAT 測試機(jī)中,需要對晶圓上眾多芯片的不同引腳進(jìn)行測試。低漏開關(guān)矩陣可以根據(jù)測試程序的要求,靈活地切換測試信號的通路。例如,當(dāng)需要測試芯片 A 的引腳 1 和引腳 2 之間的電學(xué)參數(shù)時,低漏開關(guān)矩陣可以將測試信號源HI連接到引腳 1,同時將測試信號源LO連接到引腳 2,實現(xiàn)供電和測量。


      在測試高精度的電學(xué)參數(shù)時,即使是微小的漏電流也可能導(dǎo)致測量誤差。例如,在測試芯片的微弱信號放大電路時,低漏開關(guān)矩陣可以確保在未連接測試信號的通路中不會因為漏電流而引入額外的噪聲,從而提高測試的準(zhǔn)確性。


      由于低漏開關(guān)矩陣能夠快速地切換信號通路,它可以大大提高 WAT 測試機(jī)的測試效率。在大規(guī)模生產(chǎn)測試中,能夠在短時間內(nèi)完成對大量芯片的測試是非常重要的。例如,一個晶圓上有 1000 個芯片,每個芯片有 10 個引腳需要測試,如果沒有高效的開關(guān)矩陣,測試時間會大大增加。低漏開關(guān)矩陣通過其高速的切換功能,可以按照預(yù)定的測試序列快速地連接和斷開不同的信號通路,從而加快整個測試流程。

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